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                                    ACS880-07C
                            
      
            關(guān)注中國自動(dòng)化產(chǎn)業(yè)發(fā)展的先行者！
            
      
                
				
                
                
                
            
      
        
      
    
      

      

    
      
    
      
        
        
        
        
       
					
      
				
      
					
      
												
      
							橫河電機-23年10月11日
						
      
												
      
							2024
						
      
												
      
							工業(yè)智能邊緣計算2024年會(huì )
						
      
												
      
							2024中國自動(dòng)化產(chǎn)業(yè)年會(huì )
						
      
												
      
							2023年工業(yè)安全大會(huì )
						
      
												
      
							OICT公益講堂
						
      
						
					
      
				
      
				
      
			
      
		
    
      

      

    
      
    
    

      


      
        
      
            
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      案例頻道
      
        
      
		
      
			
      
				
      大束流離子注入機顆粒改善
      
				
      
					
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      • 點(diǎn)擊數：1155     發(fā)布時(shí)間：2018-07-28 19:06:15
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      作者：楊怡，陳果（杭州士蘭集昕微電子有限公司，浙江 杭州 310000）
      摘要：大束流離子注入機是半導體行業(yè)中一種十分重要的設備，在生產(chǎn)過(guò)程中，影響注入機產(chǎn)品良率和產(chǎn)能的關(guān)鍵因素是顆粒的多少。大束流離子注入機采用靶盤(pán)式結構，腔體空間大，腔體內真空度相較于中束流離子注入機低，束流路徑大，因此產(chǎn)生顆粒的幾率更大。本文先分析了大束流離子注入機顆粒產(chǎn)生的原因，然后提出了氣體傳導率限制縫和鋸齒石墨兩種減少顆粒的結構設計，并進(jìn)行了實(shí)驗驗證，最后給出了顆粒偏高后查找顆粒源的幾種方法。
      關(guān)鍵詞：離子注入機；顆粒減少；氣體傳導率限制縫；鋸齒石墨；顆粒源
      在線(xiàn)預覽：大束流離子注入機顆粒改善
      摘自《自動(dòng)化博覽》2018年7月刊
      
				
      
			
      
			
      
                                    
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