為了進(jìn)一步推動(dòng)我國半導體產(chǎn)業(yè)的技術(shù)進(jìn)步，服務(wù)黨和國家的重大戰略需求，2024年9月28日，中國自動(dòng)化學(xué)會(huì )在西安組織召開(kāi)2024中國科協(xié)重大工程技術(shù)難題研討會(huì )，圍繞學(xué)會(huì )推薦入選中國科協(xié)2024重大工程技術(shù)難題——“大尺寸半導體硅單晶品質(zhì)管控理論與技術(shù)”展開(kāi)了深入研討并形成了廣泛共識。

中國工程院院士、中國自動(dòng)化學(xué)會(huì )特聘顧問(wèn)、清華大學(xué)教授吳澄，中國自動(dòng)化學(xué)會(huì )副理事長(cháng)、上海交通大學(xué)教授、青島科技大學(xué)副校長(cháng)李少遠，西安理工大學(xué)副校長(cháng)、教授申燁華，陜西省半導體協(xié)會(huì )理事長(cháng)、教授高勇，中國自動(dòng)化學(xué)會(huì )常務(wù)理事、晶體生長(cháng)國家地方工程研究中心主任、西安理工大學(xué)教授劉丁，陜西省半導體先導中心主任、教授何曉寧，西安理工大學(xué)新質(zhì)生產(chǎn)力創(chuàng )新中心主任、教授游才印，東北大學(xué)教授劉建昌，航天771所研究員、總工王英民，西安芯暉半導體設備技術(shù)有限公司總經(jīng)理賈元成高工，西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司晶體工藝部長(cháng)張鵬舉高工，中國自動(dòng)化學(xué)會(huì )監事、西安交通大學(xué)教授彭勤科，加拿大康考迪亞大學(xué)終身教授張友民，西部超導設備有限公司李超高工，西安理工大學(xué)相關(guān)部門(mén)領(lǐng)導和項目團隊代表以及相關(guān)行業(yè)及企業(yè)代表供三十余位專(zhuān)家學(xué)者參與座談研討。座談會(huì )由游才印教授和劉丁教授共同主持。

圖1 研討會(huì )現場(chǎng)

西安理工大學(xué)副校長(cháng)申燁華教授首先代表學(xué)校致歡迎辭。她向與會(huì )專(zhuān)家學(xué)者表示熱烈歡迎，并簡(jiǎn)要介紹了學(xué)校的發(fā)展歷程、學(xué)科建設及科研成果。她強調，本次研討會(huì )旨在匯聚國內外頂尖學(xué)者和行業(yè)專(zhuān)家，共同探討推動(dòng)我國半導體硅單晶生長(cháng)控制理論、技術(shù)方法與關(guān)鍵工藝的突破和創(chuàng )新。她還提到，劉丁教授團隊在該領(lǐng)域取得了突破性貢獻，期待通過(guò)本次研討會(huì )的深入交流與探討，激發(fā)新的思想火花，推動(dòng)多學(xué)科的交叉融合，為打破國外技術(shù)壁壘，提高我國半導體硅單晶產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)的科學(xué)化、高效化、實(shí)用化水平貢獻智慧和力量。

中國自動(dòng)化學(xué)會(huì )副理事長(cháng)李少遠教授在致辭指出，工程技術(shù)難題的提出是多年研究、設備研發(fā)、理論轉化和產(chǎn)業(yè)合作的結晶，完全符合產(chǎn)業(yè)發(fā)展的實(shí)際需求。他強調，學(xué)會(huì )一直高度重視中國科協(xié)重大問(wèn)題難題征集推薦工作，對劉丁教授團隊的實(shí)力和前景給予高度評價(jià)，并強調了跨學(xué)科研究的重要性。他鼓勵廣大青年學(xué)者積極參與，為產(chǎn)業(yè)發(fā)展貢獻力量。同時(shí)，建議加強學(xué)科交叉與融合、協(xié)同攻關(guān)，解決難題。

劉丁教授介紹了學(xué)會(huì )組織征集、遴選、推薦重大該工程技術(shù)難題的工作過(guò)程。并作“大尺寸半導體硅單晶品質(zhì)管控理論與技術(shù)”專(zhuān)題報告，詳細介紹了問(wèn)題提出的背景意義、主要內容以及所面臨的、亟需解決的關(guān)鍵科學(xué)技術(shù)問(wèn)題與挑戰，并對本團隊所做工作的研究進(jìn)展及與產(chǎn)業(yè)結合的情況及進(jìn)一步奮斗的目標進(jìn)行了介紹。

圖2 劉丁教授作專(zhuān)題報告

張鵬舉作為全國半導體硅單晶片制備領(lǐng)域頭部企業(yè)代表，介紹了西安奕斯偉材料科技股份有限公司的企業(yè)發(fā)展和項目規劃情況，并針對“大尺寸單晶硅制備進(jìn)展及晶體缺陷”作報告，指出當前企業(yè)對于解決半導體單晶硅片品質(zhì)管控問(wèn)題的高度重視以及迫切需求。

在交流討論環(huán)節，與會(huì )專(zhuān)家踴躍發(fā)言，深入探討了半導體硅單晶材料制造領(lǐng)域國際發(fā)展態(tài)勢、技術(shù)瓶頸與挑戰、行業(yè)標準的制定等核心議題。與會(huì )專(zhuān)家一致認為此難題緊扣行業(yè)發(fā)展瓶頸，選題精準、內容詳實(shí)、難點(diǎn)明確，專(zhuān)家們同時(shí)強調解決此難題實(shí)施多學(xué)科交叉融合的重要性，并從產(chǎn)學(xué)研用等多個(gè)維度出發(fā)，就解決其中的關(guān)鍵問(wèn)題提出了建設性的見(jiàn)解和建議，為推動(dòng)行業(yè)進(jìn)步貢獻了寶貴的智慧。

圖3 交流討論

吳澄院士做總結講話(huà)，他對西安理工大學(xué)劉丁教授團隊的持續研究給予高度評價(jià)，并對其未來(lái)發(fā)展寄予厚望。他強調，大尺寸半導體單晶硅片品質(zhì)管控問(wèn)題是我國亟待解決的關(guān)鍵技術(shù)難題，關(guān)系到國家經(jīng)濟安全和產(chǎn)業(yè)發(fā)展。由于硅在半導體產(chǎn)業(yè)中的重要地位，這一問(wèn)題應被視為國家戰略難題，需要集中力量攻關(guān)。同時(shí)，該問(wèn)題涉及多學(xué)科交叉、長(cháng)產(chǎn)業(yè)鏈，因此需要加強產(chǎn)學(xué)研用等多方面的合作與交流。他呼吁國家加大對該領(lǐng)域的支持力度，推動(dòng)工程研究中心的發(fā)展，以期實(shí)現技術(shù)突破和行業(yè)升級。

中國自動(dòng)化學(xué)會(huì )以高質(zhì)量黨建為引擎，深入貫徹“四個(gè)面向”戰略，推動(dòng)自動(dòng)化技術(shù)賦能?chē)抑匾a(chǎn)業(yè)發(fā)展，促進(jìn)我國半導體硅單晶制備技術(shù)突破。研討會(huì )精準對接國家科技決策和行業(yè)關(guān)鍵難題，助力關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)成果與推廣應用。學(xué)會(huì )將整合成果、編纂建議報告，為國家科技規劃提供智力支撐，助力我國發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力，實(shí)現在半導體硅單晶材料領(lǐng)域實(shí)現新跨越。

來(lái)源：中國自動(dòng)化學(xué)會(huì )