KLA-Tencor近期購并芯片后段檢測業(yè)者ICOS，而ICOS部分產(chǎn)品也可進(jìn)行太陽(yáng)能晶圓的偵測，讓人好奇是否在應用材料(AppliedMaterials)、TEL之后，KLA-TENCOR亦有意延伸跨足太陽(yáng)能市場(chǎng)？而中國內地目前也已躍居全球最大太陽(yáng)能生產(chǎn)國，本報特別專(zhuān)訪(fǎng)KLA-TENCOR中國區總裁蘇華，談中國內地半導體量測、檢測設備市場(chǎng)發(fā)展，如何在晶圓上協(xié)助客戶(hù)提升良率，這工作任務(wù)艱巨，他形容猶如是在“長(cháng)城上找1枚金幣”，以下為專(zhuān)訪(fǎng)摘要：

問(wèn)：可否請您談?wù)劻繙y、檢測(inspection&metrology)設備在中國內地市場(chǎng)的發(fā)展？

答：隨著(zhù)工藝技術(shù)的不斷微縮(shrink)，對于量測與檢測的仰賴(lài)性將持續提高，主要原因來(lái)自于工藝新材料的采用及復雜度大幅提升，例如微顯影技術(shù)(immersionlithography)、雙重曝光(doublepattern)等挑戰勢必須要更多量測儀器配合。另一方面，從8英寸演進(jìn)至12英寸乃至于18英寸晶圓，晶圓尺寸愈大、挑戰性愈高，同時(shí)從中國內地晶圓代工廠(chǎng)逐漸從90納米跨入65納米、45納米，及無(wú)錫的內存大廠(chǎng)跨入50納米世代，不論邏輯IC或DRAM，中國內地晶圓廠(chǎng)技術(shù)層次已加速追趕上來(lái)，中國內地正迎接先進(jìn)工藝世代“AdvancedtechnologycomingtoChina!”對量測、檢測設備市場(chǎng)而言絕對是好兆頭。

當半導體業(yè)者的風(fēng)險系數相對提高時(shí)，良率問(wèn)題就必須獲得盡快的妥善解決，尤其當產(chǎn)品向消費市場(chǎng)轉型，跌價(jià)速度極快時(shí)，例如DRAM競價(jià)速度非常驚人，生產(chǎn)廠(chǎng)商拼的就是生產(chǎn)良率的提升效率，我常比喻，量測、檢測的設備就是幫助客戶(hù)在晶圓上找到缺陷(defect)，而這任務(wù)就像是從天空俯瞰長(cháng)城，在其上尋找1枚金幣。

事實(shí)上，一線(xiàn)晶圓廠(chǎng)已能廣泛接受“Yieldenablessuccess”的概念，實(shí)際上他們也愿花許多工夫在提升良率的方面，著(zhù)眼的是與設備商共同創(chuàng )造價(jià)值，將眼光放得更遠，追求資本支出的長(cháng)期投資價(jià)值回饋(return)，這樣才能與設備商建立長(cháng)久穩固的合作互信關(guān)系，一方面設備商能賺錢(qián)、晶圓廠(chǎng)也能從中獲益，相互達到雙贏(yíng)。

問(wèn)：半導體設備業(yè)者目前包括應用材料(AppliedMaterials)、TEL皆已宣布跨入太陽(yáng)能設備領(lǐng)域，中國內地又是太陽(yáng)能最大生產(chǎn)國，KLA-TENCOR是否亦有類(lèi)似的進(jìn)軍規畫(huà)？

答：半導體確實(shí)許多市場(chǎng)熱錢(qián)都被太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)吸過(guò)去，相對來(lái)說(shuō)半導體業(yè)者也對2008年資本支出比較謹慎，全球半導體市場(chǎng)看來(lái)業(yè)界多認為個(gè)位數的增長(cháng)已算穩定，大家便將眼光轉移到太陽(yáng)能這個(gè)未來(lái)潛力市場(chǎng)。

KLA-TENCOR目前并未正式跨入太陽(yáng)能市場(chǎng)，但近期KLA-Tencor購并1家比利時(shí)的公司ICOS，主要還是將核心技術(shù)聚焦于芯片組件的后段包裝和互連檢測方面，持續進(jìn)行量測與檢測(inspection&metrology)事業(yè)的垂直整合，不過(guò)ICOS原本有產(chǎn)品可以進(jìn)行太陽(yáng)能晶圓的偵測，這將只是起步。

問(wèn)：您對中國內地半導體市場(chǎng)長(cháng)期展望看法如何？您過(guò)去曾任職于臺灣，兩岸市場(chǎng)有何不同？

答：臺灣在晶圓代工產(chǎn)業(yè)中領(lǐng)先是無(wú)庸置疑的，我認為未來(lái)這一點(diǎn)優(yōu)勢還會(huì )延續，而中國內地市場(chǎng)有其特殊需求。

首先，中國內地市場(chǎng)很龐大，IC主要需求來(lái)自于消費性IC，中國內地的消費性電子市場(chǎng)增長(cháng)率也超越世界所有的國家，但相對來(lái)說(shuō)，中國內地IC自制率的比重卻仍相當小，消費IC與自制率之間的差距(gap)還在拉大，這也是為何我認為中國內地半導體業(yè)仍深具增長(cháng)潛力的主因之一。其次是，政府大力支持，政策大傘庇蔭之下，中國內地業(yè)者例如中芯國際創(chuàng )發(fā)新的代管營(yíng)運模式，這是過(guò)去臺灣半導體發(fā)展軌跡中前所未見(jiàn)的。
當然中國內地半導體也面臨其它區域沒(méi)有的特殊挑戰，中國內地IC設計業(yè)者還在起步階段，整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈完整與密合度仍在持續增強中。同時(shí)對于設備業(yè)者來(lái)說(shuō)，地理區域的幅員遼闊，每個(gè)客戶(hù)廠(chǎng)區之間散布極廣，必須拉長(cháng)物流、關(guān)務(wù)及各項技術(shù)支持的戰線(xiàn)，對于設備業(yè)者營(yíng)運復雜度大增，這或許是其它區域很難想象的。

問(wèn)：您過(guò)去領(lǐng)軍中國內地團隊，設立組織調整5年計劃，目前進(jìn)展如何？未來(lái)目標何在？

答：過(guò)去3年主要都在打底、建基礎(foundation)，這3年主要都是在重整(recovering)、建設(building)、強化體質(zhì)(strengthening)，包括打造團隊作戰能力、建立制度、流程管理，將一級主管階層本地化、培養訓練組織人才、建立公司文化等，讓KLA-TENCOR逐漸能夠自給自足(self-sufficiency)能自己擁有技術(shù)能力，不需倚仗外援，而未來(lái)2年必須在既有基礎上更加穩固，機會(huì )來(lái)了才能積極備戰