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資訊頻道“100年，中國‘芯'”。在慶祝中國共產(chǎn)黨建黨百年之際，北京航空航天大學(xué)科研工作者在5個(gè)原子層厚的納米磁性薄膜上寫(xiě)下這幾個(gè)字。這個(gè)厚度相當于一張普通打印紙的十萬(wàn)分之一。
磁性芯片生產(chǎn)過(guò)程中，需將納米磁性薄膜均勻鋪在晶圓（制作硅半導體集成電路所用的襯底）上。確保所有晶圓完全“躺平”有多難？北航集成電路學(xué)院工藝與裝備系教師張學(xué)瑩表示，其相當于在北京的海淀區地面上均勻鋪滿(mǎn)5層厚的小米粒，且須完全平整，“因此，檢測薄膜的平整度尤為關(guān)鍵?！?/span>
張學(xué)瑩介紹，科研人員利用檢測儀器，通過(guò)微小的磁性針尖在薄膜上寫(xiě)字，若字的顏色對比度一致、字跡清晰，則表明薄膜有良好的均勻性。完成平整度檢測后，將納米薄膜制成器件，封裝后形成芯片。
該檢測儀器，正是由北航集成電路學(xué)院科研團隊研發(fā)的晶圓級磁光克爾測試儀。
北航集成電路學(xué)院工藝與裝備系主任王新河說(shuō)，磁性芯片可作為高可靠的信息存儲模塊和高靈敏的磁信號傳感模塊，應用于飛機、衛星的控制系統，以及手機電子羅盤(pán)、汽車(chē)自動(dòng)駕駛等領(lǐng)域。而磁性芯片生產(chǎn)過(guò)程中的磁性薄膜檢測這一關(guān)鍵技術(shù)，屬于我國長(cháng)期被“卡脖子”的技術(shù)。
“對比國外同類(lèi)設備，這臺儀器在測試精度和速度等方面進(jìn)行了技術(shù)革新，實(shí)現了自主創(chuàng )新突破?！蓖跣潞诱f(shuō)。
據了解，該儀器現已應用于科研領(lǐng)域，且預計于今年10月在產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域投入商用。
早在1993年，中國科學(xué)院科研團隊就用10個(gè)原子擺出“中國”字樣，標志著(zhù)我國可自主實(shí)現原子操縱。如今，用于書(shū)寫(xiě)“100年，中國‘芯’”的晶圓級磁光克爾測試儀，為具有百億元市場(chǎng)規模的磁性芯片產(chǎn)業(yè)提供設備支撐。
從“中國”，到“100年，中國‘芯’”，背后的科研突破成為我國高科技自主創(chuàng )新能力不斷提升、國家科技力量持續增強的一個(gè)縮影。
“作為科研一線(xiàn)的基層黨員，我覺(jué)得扎實(shí)搞研究、實(shí)現創(chuàng )新突破，便是我們對建黨百年最好的獻禮?！睆垖W(xué)瑩說(shuō)。
來(lái)源：新華網(wǎng)
北京市公安局海淀分局備案號：11010802023656號