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資訊頻道近日，由成都太科光電技術(shù)有限責任公司承擔的國家重點(diǎn)研發(fā)計劃重大科學(xué)儀器設備開(kāi)發(fā)項目“超光滑表面無(wú)損檢測儀”在成都高新區啟動(dòng)。該項目將通過(guò)專(zhuān)項帶動(dòng)，集成國內優(yōu)勢力量重點(diǎn)創(chuàng )新，解決高精度超光滑表面無(wú)損檢測的關(guān)鍵技術(shù)瓶頸，實(shí)現高端超光滑表面無(wú)損檢測儀器國產(chǎn)化，打破國外技術(shù)壟斷。
據了解，“超光滑表面無(wú)損檢測儀”是國家“十三五”重點(diǎn)研發(fā)計劃重大科學(xué)儀器設備開(kāi)發(fā)項目，獲得科技部2000萬(wàn)元、成都高新區200萬(wàn)元資金支持，由企業(yè)牽頭，協(xié)同國內多家技術(shù)實(shí)力雄厚的大學(xué)、研究所和企業(yè)形成產(chǎn)、學(xué)、研、用相結合的項目團隊共同實(shí)施，主要用于高精度非接觸測量，可廣泛應用于高速集成電路、微電子集成電路等基片彎曲度、表面質(zhì)量等關(guān)鍵參數的快速檢測。
摘自《中國高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)導報》
北京市公安局海淀分局備案號：11010802023656號