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日前，“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專(zhuān)項的“IC設備關(guān)鍵零部件集成制造技術(shù)與加工平臺”研發(fā)任務(wù)圓滿(mǎn)完成并投入使用，標志著(zhù)我國IC裝備零部件在國產(chǎn)化進(jìn)程中又邁出了重要的一步，不僅打破了該領(lǐng)域核心零部件長(cháng)期依賴(lài)國外進(jìn)口的被動(dòng)局面，大幅度提升了我國IC裝備制造產(chǎn)業(yè)鏈的整體競爭力。
隨著(zhù)我國集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，產(chǎn)業(yè)需求已占到全球一半以上，但我國集成電路產(chǎn)業(yè)的供給能力只能滿(mǎn)足國內市場(chǎng)需求的1/10，單元部件和零件國際采購受到嚴重制約，而國內供應商配套能力嚴重缺失，導致我國IC設備生產(chǎn)企業(yè)在零部件采購和備件采購過(guò)程中普遍面臨采購成本、采購周期無(wú)法滿(mǎn)足需求，迫切需要解決零部件和集成制造本土化。
平臺圍繞IC裝備金屬類(lèi)零部件高效精密加工、表面處理、真空電子束焊等8個(gè)方面展開(kāi)技術(shù)攻關(guān)與建設，突破了精密切削加工、特種表面處理和精密焊接等一系列關(guān)鍵技術(shù)。該平臺已建設成集精密機械加工、特種表面處理、精密焊接于一體的IC設備精密零部件綜合服務(wù)平臺，建成國際水準的金屬零部件表面處理及清洗試驗線(xiàn)，通過(guò)多項國際先進(jìn)的表面處理制程認證以及世界IC設備整機龍頭美國應用材料公司和東京電子公司的整體考核，并成為其戰略供應商，也是其在亞洲唯一硬質(zhì)陽(yáng)極及刷鍍鎳的供應伙伴。
同時(shí)，平臺以共享、開(kāi)放的方式為國內北方微電子、上海微電子、沈陽(yáng)拓荊科技、沈陽(yáng)芯源、沈陽(yáng)新松等10余家IC裝備企業(yè)提供產(chǎn)品研發(fā)與技術(shù)創(chuàng )新、精密機械零部件的加工制造及特殊表面處理服務(wù)，提供千余款零部件，在保證整機零部件工藝質(zhì)量的同時(shí)，替代進(jìn)口，降低采購成本，支撐產(chǎn)業(yè)鏈快速發(fā)展，截止去年12月，完成相關(guān)銷(xiāo)售額5727.22萬(wàn)元，具備黑色金屬零部件清洗6萬(wàn)件的生產(chǎn)能力。
北京市公安局海淀分局備案號：11010802023656號