近年來(lái)，由于在工業(yè)生產(chǎn)、家庭安全、環(huán)境監測和醫療等領(lǐng)域對氣體傳感器的精度、性能、穩定性方面的要求越來(lái)越高，因此對氣體傳感器的研究和開(kāi)發(fā)也越來(lái)越重要。隨著(zhù)先進(jìn)科學(xué)技術(shù)的應用，氣體傳感器發(fā)展的趨勢是微型化、智能化和多功能化。深入研究和掌握有機、無(wú)機、生物和各種材料的特性及相互作用，理解各類(lèi)氣體傳感器的工作原理和作用機理，正確選擇各類(lèi)傳感器的敏感材料，靈活運用微機械加工技術(shù)、敏感薄膜形成技術(shù)、微電子技術(shù)、光纖技術(shù)等，使傳感器性能最優(yōu)化是氣體傳感器的發(fā)展方向。

    新氣敏材料與制作工藝的研究開(kāi)發(fā)

    對氣體傳感器材料的研究表明，金屬氧化物半導體材料Zn0，SIlo2，Fe203等己趨于成熟化，特別是在C比，C2H5OH，CO等氣體檢測方面?，F在這方面的工作主要有兩個(gè)方向：一是利用化學(xué)修飾改性方法，對現有氣體敏感膜材料進(jìn)行摻雜、改性和表面修飾等處理，并對成膜工藝進(jìn)行改進(jìn)和優(yōu)化，提高氣體傳感器的穩定性和選擇性；二是研制開(kāi)發(fā)新的氣體敏感膜材料，如復合型和混合型半導體氣敏材料、高分子氣敏材料，使得這些新材料對不同氣體具有高靈敏度、高選擇性、高穩定性。由于有機高分子敏感材料具有材料豐富、成本低、制膜工藝簡(jiǎn)單、易于與其它技術(shù)兼容、在常溫下工作等優(yōu)點(diǎn)，已成為研究的熱點(diǎn)。

    新型氣體傳感器的研制

    用傳統的作用原理和某些新效應，優(yōu)先使用晶體材料(硅、石英、陶瓷等)，采用先進(jìn)的加工技術(shù)和微結構設計，研制新型傳感器及傳感器系統，如光波導氣體傳感器、高分子聲表面波和石英諧振式氣體傳感器的開(kāi)發(fā)與使用，微生物氣體傳感器和仿生氣體傳感器的研究。隨著(zhù)新材料、新工藝和新技術(shù)的應用，氣體傳感器的性能更趨完善，使傳感器的小型化、微型化和多功能化具有長(cháng)期穩定性好、使用方便、價(jià)格低廉等優(yōu)點(diǎn)。

    氣體傳感器智能化

    隨著(zhù)人們生活水平的不斷提高和對環(huán)保的日益重視，對各種有毒、有害氣體的探測，對大氣污染、工業(yè)廢氣的監測以及對食品和居住環(huán)境質(zhì)量的檢測都對氣體傳感器提出了更高的要求。納米、薄膜技術(shù)等新材料研制技術(shù)的成功應用為氣體傳感器集成化和智能化提供了很好的前提條件。氣體傳感器將在充分利用微機械與微電子技術(shù)、計算機技術(shù)、信號處理技術(shù)、傳感技術(shù)、故障診斷技術(shù)、智能技術(shù)等多學(xué)科綜合技術(shù)的基礎上得到發(fā)展。研制能夠同時(shí)監測多種氣體的全自動(dòng)數字式的智能氣體傳感器將是該領(lǐng)域的重要研究方向。