華潤微電子有限公司旗下的華潤上華科技有限公司(后簡(jiǎn)稱(chēng)“華潤上華”)宣布已開(kāi)發(fā)完成600V和1700V Planar NPT IGBT(平面非穿通型絕緣柵雙極晶體管)以及600V Trench PT IGBT(溝槽穿通型絕緣柵雙極晶體管)工藝平臺,各項參數均達到設計要求,并順利通過(guò)可靠性考核。加上去年成功量產(chǎn)的1200V Planar 和Trench NPT工藝平臺,華潤上華已成為國內首家具備包含前道和背面工藝的全套600V/1200V/1700V NPT IGBT加工能力的代工廠(chǎng)。
華潤上華已具備60μm以上的IGBT薄片加工能力。此次開(kāi)發(fā)量產(chǎn)的600V Planar NPT IGBT工藝產(chǎn)品,其背面減薄后圓片厚度僅100μm。該工藝產(chǎn)品主要應用于UPS系統(不間斷電源)、太陽(yáng)能逆變器、變頻家電、工業(yè)變頻驅動(dòng)和電焊機等市場(chǎng)。華潤上華的1700V Planar NPT IGBT工藝平臺更解決了高壓IGBT存在的高溫漏電問(wèn)題,產(chǎn)品主要應用于變頻器、風(fēng)力變流器和智能電網(wǎng)等市場(chǎng)。
華潤上華IGBT工藝平臺的布局立足于滿(mǎn)足節能減排的需求,支持中國在十二五期間新能源政策如太陽(yáng)能發(fā)電和風(fēng)能發(fā)電以及智能電網(wǎng)的發(fā)展,同時(shí)切合國內電焊機、變頻器、UPS等巨大的市場(chǎng)需求。華潤上華近兩年在IGBT工藝平臺的布局已經(jīng)取得不少豐碩成果。1200V Planar 和Trench NPT IGBT已于2011年初量產(chǎn);600V Trench PT 以及600V 和1700V Planar NPT IGBT平臺已于近期開(kāi)發(fā)完成;2500V Planar NPT IGBT的靜態(tài)參數和動(dòng)態(tài)參數已經(jīng)達到設計目標,并通過(guò)預考核。同時(shí),600V 和 1700V Trench NPT IGBT、3300V/4500V Planar FS IGBT靜態(tài)參數DC如V(BR)CES 和VCE(on) 也已經(jīng)達到預期結果。
華潤上華作為國內首家以晶圓代工模式立足中國半導體市場(chǎng)的產(chǎn)業(yè)先鋒,自2005年DMOS工藝量產(chǎn)以來(lái),成功開(kāi)發(fā)了量產(chǎn)6英寸高壓平面柵400-700V MOSFET、6英寸中壓平面柵50-200V MOSFET、8英寸低壓溝槽柵20-40V MOSFET、8英寸中壓溝槽柵50-80V MOSFET等豐富的功率器件工藝平臺。近兩年在IGBT各類(lèi)工藝平臺的開(kāi)發(fā)成果,使得華潤上華在功率器件代工的工藝平臺更為全面,將進(jìn)一步促進(jìn)國內功率器件產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,提高節能減排關(guān)鍵部件的國產(chǎn)化水平和比重。