1      引言

        2000年6月12日，在國家科技部的組織下，“96-748傳感器技術(shù)研究”國家重點(diǎn)科技攻關(guān)項目進(jìn)行了項目驗收。與會(huì )專(zhuān)家聽(tīng)取了項目實(shí)施組的“項目執行自評估報告”后認為，“96-748傳感器技術(shù)研究”經(jīng)過(guò)3年攻關(guān)已經(jīng)圓滿(mǎn)地完成國家攻關(guān)項目規定的攻關(guān)目標、考核目標和研究?jì)热?。本項目共計投入?jīng)費6642．37萬(wàn)元，國家撥款2500萬(wàn)元。投入科技人員468人／年。通過(guò)3年的攻關(guān)，共計建成中試生產(chǎn)線(xiàn)12條，其中工程化課題建成中試生產(chǎn)線(xiàn)9條，新產(chǎn)品開(kāi)發(fā)課題建成中試生產(chǎn)線(xiàn)3條，使18個(gè)品種75個(gè)規格的新產(chǎn)品形成一定規模的中試生產(chǎn)；通過(guò)新產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，開(kāi)發(fā)了力敏、磁敏、溫度、濕氣敏的51個(gè)品種86個(gè)規格的新產(chǎn)品，90％的成果進(jìn)行了批量或小批量生產(chǎn)并供應市場(chǎng)。傳感器的共性關(guān)鍵技術(shù)包括CAD技術(shù)、關(guān)鍵制造工藝、微機械加工技術(shù)、可靠性技術(shù)在生產(chǎn)中得到應用，攻關(guān)產(chǎn)品的成品率普遍提高10％以上，可靠性水平提高1-2個(gè)等級，建成傳感器實(shí)驗室、試驗基地5個(gè)；據不完全統計，攻關(guān)3年累計銷(xiāo)售各類(lèi)傳感器1260多萬(wàn)支，實(shí)現銷(xiāo)售收入14418多萬(wàn)元，取得科研成果59項，總體水平達到國外九十年代中期的先進(jìn)水平。獲得國家專(zhuān)利32項(其中獲得和受理發(fā)明專(zhuān)利11項)，在國內外各類(lèi)期刊上發(fā)表學(xué)術(shù)論文和研究報告244篇，進(jìn)行技術(shù)轉讓6項，取得較好的成績(jì)。

        “九五”傳感器科技攻關(guān)的指導思想是：一個(gè)目標是提高傳感器的技術(shù)水平、可靠性水平和產(chǎn)業(yè)化程度。二個(gè)轉變是向提高企業(yè)技術(shù)進(jìn)步轉變，向提高市場(chǎng)占有率轉變。三個(gè)結合是共性關(guān)鍵技術(shù)與應用技術(shù)相結合，加快產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程；典型產(chǎn)品開(kāi)發(fā)與產(chǎn)品系列化相結合；滿(mǎn)足市場(chǎng)需要；科研開(kāi)發(fā)與成果工程化相結合，實(shí)現適度規模生產(chǎn)。

    通過(guò)攻關(guān)，在傳感器的關(guān)鍵制造工藝、新產(chǎn)品開(kāi)發(fā)、科技成果的工程化等方面提高了我國傳感器的技術(shù)水平，促進(jìn)了我國傳感器產(chǎn)業(yè)的形成，縮小了與世界先進(jìn)水平的差距。

2      在技術(shù)上，取得一批具有自主知識產(chǎn)權的成果

        通過(guò)攻關(guān)，在技術(shù)上有所創(chuàng )新，取得一批具有自主知識產(chǎn)權的科技成果，主要是：

        (1)復旦大學(xué)發(fā)明的掩膜-

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