MEMS技術(shù)開(kāi)辟了一個(gè)全新的自然科學(xué)領(lǐng)域及全新的產(chǎn)業(yè)，它不僅可以降低機電系統的成本，而且還可以完成許多大尺寸機電系統無(wú)法完成的任務(wù)。

　　國外MEMS已形成產(chǎn)業(yè)化

　　在科學(xué)家們的大力推動(dòng)下，MEMS微機電系統受到了美國、德國、日本等發(fā)達國家的重視，他們投入了大量的人力物力去推動(dòng)該產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，多年來(lái)取得了眾多新成果。

　　美國政府把航空航天、信息和MEMS作為科技發(fā)展的三大重點(diǎn)。美國國家科學(xué)基金會(huì )把MEMS作為一個(gè)新崛起的研究領(lǐng)域，制定了資助微機電系統的研究計劃。1994年發(fā)布的《美國國防部技術(shù)計劃》報告，把MEMS列為關(guān)鍵技術(shù)項目。從1998年開(kāi)始，美國政府投資資助麻省理工學(xué)院等8所大學(xué)和貝爾實(shí)驗室，從事MEMS領(lǐng)域的研究與開(kāi)發(fā)，美國國防部高級研究計劃局積極領(lǐng)導和支持MEMS的研究和軍事應用，現已建成一條MEMS標準工藝線(xiàn)，以促進(jìn)新型元件/裝置的研究與開(kāi)發(fā)。而美國大批量生產(chǎn)的硅加速度計把微型傳感器(機械部分)和集成電路集成在3mm×3mm的硅片內。

　　歐洲工業(yè)發(fā)達國家也相繼對微機電系統的研究開(kāi)發(fā)進(jìn)行了重點(diǎn)投資。德國自1988年開(kāi)始設立了微系統計劃項目。德國科技部于1990年～1993年撥款4萬(wàn)馬克支持微系統計劃研究，并把微系統列為本世紀初科技發(fā)展的重點(diǎn)。德國首創(chuàng )的LIGA工藝，即光刻、電鑄和塑鑄工藝，為MEMS的發(fā)展提供了新的技術(shù)手段，并已成為三維結構制作的優(yōu)選工藝。德國利用LIGA工藝，已制成了懸臂梁、執行機構、微型泵、微型噴嘴、濕度傳感器、流量傳感器以及多種光學(xué)器件。

　　法國1993年啟動(dòng)了投資7000萬(wàn)法郎的“微系統與技術(shù)”項目。

　　歐盟組成“多功能微系統研究網(wǎng)絡(luò )NEXUS”，聯(lián)合協(xié)調46個(gè)研究所的研究。

　　瑞士基于其傳統的鐘表制造行業(yè)和小型精密機械工業(yè)的基礎，也投入MEMS的開(kāi)發(fā)工作。1992年開(kāi)始投資1000萬(wàn)美元。

　　英國政府也制定了納米科學(xué)計劃，在機械、光學(xué)、電子學(xué)等領(lǐng)域列出8個(gè)項目進(jìn)行研究與開(kāi)發(fā)。

　　為了加強歐洲開(kāi)發(fā)MEMS的力量，一些歐洲公司已組成MEMS開(kāi)發(fā)集團。

　　在中國，MEMS傳感器的基礎性科研開(kāi)發(fā)已取得顯著(zhù)成果，但尚未具備大批量生產(chǎn)的能力，與國際上的產(chǎn)業(yè)化水平存在一定差距。

　　汽車(chē)應用提供廣闊市場(chǎng)

　　基于MEMS技術(shù)的微型傳感器具有降低汽車(chē)電子系統成本及提高其性能的優(yōu)勢，它們已開(kāi)始逐步取代基于傳統機電技術(shù)的傳感器。

　　在市場(chǎng)引導，科技推動(dòng)，風(fēng)險投入，政府介入等多重因素作用下，汽車(chē)MEMS傳感器發(fā)展迅速，現已成為相關(guān)部門(mén)爭先投資開(kāi)發(fā)的熱點(diǎn)。

　　隨著(zhù)納米技術(shù)的進(jìn)步，體積更小、造價(jià)更低、功能更強的微型傳感器將廣泛應用在汽車(chē)的各個(gè)方面。在未來(lái)幾年內，包括發(fā)動(dòng)機運行管理、廢氣與空氣質(zhì)量控制、剎車(chē)防抱死系統、車(chē)輛動(dòng)力學(xué)控制、自適應導航、車(chē)輛行駛安全系統在內的汽車(chē)應用將為MEMS技術(shù)提供廣闊的市場(chǎng)。

　　在高檔汽車(chē)中，每輛車(chē)大約采用25只到40只傳感器，技術(shù)上日趨成熟完善，可滿(mǎn)足汽車(chē)對可靠性高、精度準確、成本低的要求，極大地推動(dòng)了電子技術(shù)在汽車(chē)上的應用。

　　發(fā)動(dòng)機的電子控制一直被認為是MEMS技術(shù)在汽車(chē)中的主要應用領(lǐng)域之一，發(fā)動(dòng)機控制系統用傳感器是整個(gè)汽車(chē)傳感器的核心，種類(lèi)很多，包括溫度傳感器、壓力傳感器、位置和轉速傳感器、流量傳感器、氣體濃度傳感器和爆震傳感器等。這些傳感器向發(fā)動(dòng)機的電子控制單元提供發(fā)動(dòng)機的工作狀況信息，供電子控制單元對發(fā)動(dòng)機工作狀況進(jìn)行精確控制，以提高發(fā)動(dòng)機的動(dòng)力，降低油耗并減少廢氣排放。

　　目前，可以提供汽車(chē)MEMS壓力傳感器的有美國凱樂(lè )爾、特種測量、SSI、菲爾科、德州儀器、德國博世、日本電裝等公司，部分廠(chǎng)家已研制成功汽車(chē)MEMS壓力傳感器，如博世公司采用表面MEMS技術(shù)，研制出微型化的硅質(zhì)量流量傳感器，很多汽車(chē)廠(chǎng)家正對這種新型傳感器進(jìn)行評估。

　　多元化和集成化是趨勢

　　未來(lái)MEMS技術(shù)的主要發(fā)展趨勢是多元化和集成化，多元化趨勢包括研究方向多元化和加工工藝多元化。

　　MEMS技術(shù)的研究方向日益多元化，MEMS技術(shù)涉及的研究領(lǐng)域主要包括慣性器件，如加速度計與陀螺、AFM(原子力顯微鏡)、數據存儲、三維微型結構的制作、微型閥門(mén)、泵和微型噴口、流量器件、微型光學(xué)器件、各種執行體、微型機電器件性能模擬、封裝鍵合、醫用器件、實(shí)驗表征器件、壓力傳感器、麥克風(fēng)以及聲學(xué)器件等眾多發(fā)展方向，應用內容涉及軍事、民用等各個(gè)應用領(lǐng)域。

　　加工工藝多元化是指多種工藝相結合，如：傳統的體硅加工工藝、表面犧牲層工藝、溶硅工藝、深槽刻蝕與鍵合相結合工藝、LIGA加工工藝、厚膠與電鍍相結合的金屬犧牲層工藝、MAMOS(金屬空氣MOSFET)工藝、體硅與表面犧牲層相結合工藝等，而具體的加工方法更是多種多樣。

　　此外，未來(lái)MEMS技術(shù)的系統單片集成化趨勢明顯。

　　由于一般傳感器的輸出信號(電流或電壓)很弱，如果將它連接到外部電路，那么寄生電容、電阻等的影響會(huì )徹底掩蓋有用的信號。因此采用靈敏元件外接處理電路的方法已不可能得到質(zhì)量很高的傳感器，只有把兩者集成在一個(gè)芯片上，才能具有最好的性能。