中廣網(wǎng)西安6月16日消息,列入國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃(863計劃)的“耐高溫壓力傳感器”經(jīng)過(guò)四年艱苦攻關(guān),最近在西安交大研制成功。我國高溫壓力傳感器產(chǎn)品長(cháng)期依賴(lài)進(jìn)口的局面從此將徹底改變。
耐高溫壓力傳感器廣泛應用于航空航天、石油化工、汽車(chē)等領(lǐng)域高溫環(huán)境下的壓力測量。如測量航空航天發(fā)動(dòng)機燃燒室在啟動(dòng)、停車(chē)、不穩定燃燒期間的各種瞬變壓強,從而掌握燃燒室壓強變化規律,為設計和評價(jià)發(fā)動(dòng)機提供依據;測量石油化工領(lǐng)域各種反應釜、冶煉塔、采油井下的壓力,為安全生產(chǎn)、提高石油產(chǎn)量提供判據;測量能源動(dòng)力、軍用火工品、汽車(chē)工業(yè)等在特種環(huán)境下的壓力等。這些領(lǐng)域對耐高溫壓力傳感器的年需求總量約為4萬(wàn)只,隨著(zhù)國 民經(jīng)濟和國防現代化的發(fā)展,高溫壓力傳感器的市場(chǎng)需求將以每年10%~32%的速率遞增。而常規的硅壓力傳感器只能在120℃以下進(jìn)行壓力測量,超過(guò)120℃時(shí),傳感器的性能會(huì )嚴重惡化以至失效,當傳感器遇到被測流體大于1000℃瞬時(shí)高溫沖擊時(shí),敏感元件就會(huì )被燒壞,導致信號處理系統和電路失調。長(cháng)期以來(lái),美國、瑞士、英國等國外公司的耐高溫壓力傳感器產(chǎn)品壟斷了國際市場(chǎng),我國高溫壓力傳感器產(chǎn)品主要依賴(lài)進(jìn)口, 一直受制于人。
研制我國有知識產(chǎn)權的耐高溫壓力傳感器列入國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃后,西安交大蔣莊德教授率領(lǐng)課題組歷時(shí)4年努力,終于完成了這一高科技攻關(guān)項目。教育部日前組織專(zhuān)家對這一項目進(jìn)行科技成果鑒定后認為,西安交大精密工程研究所利用MEMS(微型機械電子系統)技術(shù),研制出的硅隔離耐高溫微型壓力傳感器,能在-30℃~250℃環(huán)境下進(jìn)行壓力測量,可完成1000MPa以下任意量程范圍的壓力測量, 能承受2000℃瞬時(shí)高溫沖擊。該項目屬?lài)鴥仁讋?chuàng ),有效解決了我國航空航天、石油化工、汽車(chē)工業(yè)等領(lǐng)域高溫環(huán)境下壓力測量的技術(shù)難題,解決了瞬時(shí)高溫沖擊下傳感器失效的難題,打破了國外同類(lèi)產(chǎn)品對我國傳感器市場(chǎng)的壟斷,提升了我國這一行業(yè)的整體水平和國際競爭能力,具有很高的推廣和使用價(jià)值。