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      泓格半導體產(chǎn)業(yè)專(zhuān)用烤箱的溫度控管
      • 廠(chǎng)商:泓格科技
      • 點(diǎn)擊數:1183     發(fā)布時(shí)間:2024-12-28 21:11:43
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      使用泓格DALI轉換器(DGW-521),連接客戶(hù)的熱處理系統(Heating System)與DALI溫控器,使客戶(hù)的熱風(fēng)多層爐烤箱,更具節能性以及高穩定性。在手機、平板、大尺寸面板、車(chē)用面板等各種不同生產(chǎn)需求下,克服面板溫度制程上的瓶頸,提供面板大廠(chǎng)更具彈性的生產(chǎn)條件。
      關(guān)鍵詞: 泓格科技 , 溫度控管 , 熱處理系統

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      使用泓格DALI轉換器(DGW-521),連接客戶(hù)的熱處理系統(Heating System)與DALI溫控器,使客戶(hù)的熱風(fēng)多層爐烤箱,更具節能性以及高穩定性。在手機、平板、大尺寸面板、車(chē)用面板等各種不同生產(chǎn)需求下,克服面板溫度制程上的瓶頸,提供面板大廠(chǎng)更具彈性的生產(chǎn)條件。


      案例介紹

      此客戶(hù)為臺灣半導體產(chǎn)業(yè)烤箱設備廠(chǎng),利用烤箱的光與熱相關(guān)技術(shù),提供PCB電路板、FPD面板與觸控、半導體、電子組裝、印刷、涂裝、鞋業(yè)等各大產(chǎn)業(yè)的高精度生產(chǎn)設備。而此案例則為面板制程的熱風(fēng)多層爐烤箱的溫度監控實(shí)例分享。


      嚴苛的制程條件,烤箱溫度成為質(zhì)量與良率的關(guān)鍵因素

      在TFT-LCD大尺寸面板制程中,許多涂布材料須經(jīng)過(guò)烘烤制程,例如:光阻涂布后預烤、顯影后光阻固烤、配向膜涂布后預烤(Pre-bake)、配向膜固烤、框膠預烤。在這些程序中,需要進(jìn)行熱處理,其溫度則越低越好,且針對不同的程序,其適合的溫度也有所差異。例如:清洗后干燥和光阻涂布后預烤溫度須為 90~120℃,配向膜涂布后預烤和彩色濾光片光阻硬化與燒成溫度應在190~250℃間。

      為達成上述條件,所采取方式有批量式和單片式電熱板輸送帶(Hot Plate Conveyor)等兩種,過(guò)去往往會(huì )因為制程的溫度過(guò)高,使得UV膠在固化過(guò)程中產(chǎn)生黃化現象降低面板透光度,而影響良率;除TFT LCD外,智能型手機和平板計算機爆發(fā)性成長(cháng),加上LCD TV、NB、iPad等產(chǎn)品的熱銷(xiāo),與LTPS、IGZO、OLED、裸視3D、Touch Panel等面板產(chǎn)品的多元化,因此更增添了制程上的復雜度,而烤箱溫度的穩定,則成為質(zhì)量與良率的關(guān)鍵。


      ICP DAS DALI網(wǎng)關(guān),PLC與DALI燈控模塊之間的橋梁

      在此案例中,客戶(hù)所使用的熱風(fēng)多層爐靠?jì)炔繑蛋兕w燈管來(lái)達成加熱機制。為了讓燈管可隨制程變化,做到隨時(shí)調節、轉變,且維持穩定可靠,客戶(hù)選擇了DALI燈控模塊進(jìn)行燈管的管理,并采用不受極性影響的電子式安定器,精密控制燈管輸出功率。然而,熱風(fēng)多層爐所使用的PLC支持 Modbus RTU通訊協(xié)議,無(wú)法接收DALI燈控模塊的DALI通訊協(xié)議,因此選擇泓格DGW-521 DALI網(wǎng)關(guān)來(lái)連接PLC與DALI燈控模塊,進(jìn)而達成溫度管理與燈管異常監控的需求,維持制程條件與良率質(zhì)量的管控。其系統架構圖如下:

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      結語(yǔ)

      過(guò)去熱風(fēng)多層爐烤箱市場(chǎng)為國外廠(chǎng)商所壟斷,此客戶(hù)制造的熱風(fēng)多層爐烤箱,突破長(cháng)期需要仰賴(lài)從國外進(jìn)口主要設備的困境,且符合提高質(zhì)量與降低成本的要求,大大提升中國臺灣光電產(chǎn)業(yè)的競爭力,因此該客戶(hù)目前是中國臺灣唯一具有Array/CF/Cell加熱設備供應能力的廠(chǎng)商,也是中國臺灣設備廠(chǎng)商TFT LCD唯一的供貨商。

      泓格長(cháng)期關(guān)注新技術(shù)研發(fā),產(chǎn)品項目完整,針對各種不同通訊協(xié)議的信息轉換需求,皆有可對應的產(chǎn)品,因此能夠滿(mǎn)足客戶(hù)系統整合所需。從使用者的角度思考,通過(guò)大量累積的經(jīng)驗,泓格科技將持續提供各領(lǐng)域業(yè)者完善的產(chǎn)品與服務(wù)。

       

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