我國半導體設備領(lǐng)域長(cháng)期受?chē)饧夹g(shù)封鎖與壟斷，加快自主研發(fā)勢在必行。諸多國內半導體設備廠(chǎng)商強勢崛起，如某領(lǐng)先集成電路與真空儀器設備廠(chǎng)商，秉持 “引領(lǐng)真空技術(shù)，支撐科技創(chuàng )新，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展” 使命，為關(guān)鍵設備國產(chǎn)化貢獻卓著(zhù)。

項目挑戰

該客戶(hù)研制的 PVD 鍍膜設備，系半導體工藝國產(chǎn)化重要成果。為精準把控蒸發(fā)或濺射的溫度、壓力、時(shí)間等工藝參數，客戶(hù)需將設備的傳感器、控制器、繼電器、電源等電氣自動(dòng)化元件相聯(lián)接，以實(shí)現電力、信號與數據傳輸。針對關(guān)鍵電氣聯(lián)接部位的重載接插件，該客戶(hù)著(zhù)重考量的因素涵蓋：

·   如何滿(mǎn)足設備運行環(huán)境的要求

（1）    PVD鍍膜過(guò)程中產(chǎn)生的化學(xué)氣體或蒸氣往往對電氣材料產(chǎn)生腐蝕；

（2）    在一些特定的鍍膜工藝中，可能會(huì )產(chǎn)生高溫和高壓。

·   如何提高機械性能穩定性

PVD設備運行過(guò)程中，連接器需要頻繁承受影響穩定性的機械應力，如振動(dòng)、沖擊、插拔等。

·   如何適應機柜設計，快速完成效果測試

如何根據電氣柜空間設計要求采用合適的重載聯(lián)接技術(shù)，并通過(guò)不同的連接器出線(xiàn)方式快速滿(mǎn)足設備測試要求，是客戶(hù)的又一困擾所在。

該客戶(hù)需要匹配的重載接插件解決方案以解決上述電氣柜聯(lián)接項目遇到的挑戰，并滿(mǎn)足半導體終端客戶(hù)對PVD鍍膜設備的高標準要求。經(jīng)過(guò)多方考量，最終找到了經(jīng)驗豐富的電聯(lián)接專(zhuān)家——魏德米勒。

解決方案

考慮到上述要求，魏德米勒憑借專(zhuān)業(yè)的技術(shù)能力和快速的服務(wù)能力，為客戶(hù)的PVD真空鍍膜設備項目提供了一套精準適用的重載接插件解決方案。

·   高防護設計

（1）    采用壓鑄鋁制成，其 IP65 / NEMA型 4X 外殼，防塵、防潮、防腐蝕；

（2）    可在-40°C至+125°C的寬溫度范圍工作；

（3）    防電磁干擾，可安全傳輸高達35A的電流以及高達830V的電壓。

·   抗機械壓力性能

（1）    清晰的聯(lián)鎖系統采用不銹鋼制成，通過(guò)獨有的專(zhuān)利保護的彈簧系統為接插件外殼聯(lián)鎖提供緊密接合，防止意外打開(kāi)；

（2）    堅固的機械結構能夠承受設備振動(dòng)、沖擊和機械應力。

·   快速溝通響應和效果測試

魏德米勒與客戶(hù)進(jìn)行了深入詳細的溝通，根據客戶(hù)電氣柜設計的特殊要求，為分源端和目標端的兩路重載都提供了頂出和側出兩種出線(xiàn)方案，并迅速進(jìn)行了實(shí)際效果測試。

客戶(hù)的益處

采用魏德米勒的重載接插件解決方案后，該客戶(hù)的PVD真空鍍膜設備研制項目得以順利實(shí)施，并獲得了一系列重要收益：

·   終端客戶(hù)使用更為放心

通過(guò)高防護設計的重載接插件解決方案，該客戶(hù)大大提升了設備運行的安全可靠性，為其終端客戶(hù)提供了腐蝕、高溫等工藝環(huán)境下的安心之選。

·   提升設備性能和競爭力

基于魏德米勒重載接插件解決方案出色的機械性能，PVD真空鍍膜設備的電氣自動(dòng)化系統獲得了更加穩定可靠的聯(lián)接能力，為解決半導體設備國產(chǎn)化進(jìn)程中的卡脖子問(wèn)題貢獻一己之力。

·   快速完成選型、調試和交付

基于魏德米勒專(zhuān)業(yè)的咨詢(xún)和定制方案服務(wù)能力，大大簡(jiǎn)化了前期咨詢(xún)和選型過(guò)程，快速找到符合客戶(hù)電氣柜設計需求的聯(lián)接方案。在交期緊張的情況下，僅用1周就完成了效果測試。

最終效果

隨著(zhù)半導體國產(chǎn)化進(jìn)程加快，對關(guān)鍵半導體設備的要求也越來(lái)越高，魏德米勒憑借強大的本地化定制服務(wù)能力，持續為客戶(hù)提供設備的電氣聯(lián)接項目保駕護航，為關(guān)鍵國產(chǎn)化設備的崛起提供助力。