產(chǎn)品概述：

E202納米級分辨率電渦流位移傳感器采用阻抗分離技術(shù)，設計一種全新的基于特殊參數設計交流電橋和鎖定放大器的阻抗分離測量電路，可以精確測量線(xiàn)圈電阻和電感的微小變化量，極大地提高渦流傳感器的靈敏度和分辨率。本項目解決了阻抗分離技術(shù)、智能溫漂補償技術(shù)、高Q值帶通濾波器的噪聲抑制等核心技術(shù)問(wèn)題。針對目前市場(chǎng)上精密位移傳感器領(lǐng)域由國外企業(yè)如德國米銥（Micro-Epsilon）、美國卡曼（Kaman）、德國PI（Physik Instrumente）和日本基恩士（Keyence）等主導的現狀，旨在打破這一壟斷格局。國內生產(chǎn)商普遍只能提供低精度的位移傳感器，分辨率在0.1μm以上，并且存在穩定性差、使用壽命短等問(wèn)題。與國際先進(jìn)水平相比，國內產(chǎn)品在精度和穩定性方面有較大差距，關(guān)鍵技術(shù)參數甚至相差一個(gè)數量級。2023年5月5日，E202納米級分辨率電渦流位移傳感器產(chǎn)品通過(guò)了廣東產(chǎn)品質(zhì)量監督檢驗研究院的檢驗，性能指標達到國內先進(jìn)水平，準靜態(tài)分辨率達到了8納米。2023年6月2日，產(chǎn)品經(jīng)中國科學(xué)院中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)科技查新咨詢(xún)中心鑒定為國內空白，表明該產(chǎn)品填補了國內市場(chǎng)的空白。

性能特點(diǎn)：

（1）采用全橋電路設計并抑制了電路的噪聲使得傳感器樣機實(shí)現了40nm的動(dòng)態(tài)分辨率（10kHz）和8nm的準靜態(tài)分辨率（20Hz）。

（2）研發(fā)智能溫漂補償技術(shù)，采用獨立高精度、低溫度漂移的電阻全橋作為信號源的溫度漂移檢測電路，并對探測線(xiàn)圈電感和電阻值進(jìn)行同步測量，實(shí)現傳感器溫度漂移的自動(dòng)校正和補償，使傳感器系統的溫度漂移小于50nm/℃。

（3）研究采用渦流等效圓環(huán)和變壓器模型分析渦流傳感器響應的理論模型，量化目標材料電導率和工作頻率、線(xiàn)圈參數等對傳感器性能的影響，對探測線(xiàn)圈繞制、貼裝工藝進(jìn)行改進(jìn)，采用高強度的粘合劑及熱穩定性性能優(yōu)異的支架結構，實(shí)現探頭的高穩定性。

適用領(lǐng)域：

解決航空航天、高端精密制造、科教、軍工、半導體等諸多領(lǐng)域的測控瓶頸，帶動(dòng)精密位移傳感器及檢測系統的產(chǎn)業(yè)發(fā)展，促進(jìn)我國高端精密制造產(chǎn)業(yè)技術(shù)的突破，形成精密制造產(chǎn)業(yè)基地。

推薦理由：

該技術(shù)通過(guò)阻抗分離技術(shù)和全橋電路設計，能夠精確測量線(xiàn)圈電阻和電感的微小變化量，極大地提高了渦流傳感器的靈敏度和分辨率。同時(shí)，研發(fā)的智能溫漂補償技術(shù)實(shí)現了傳感器溫度漂移的自動(dòng)校正和補償，使傳感器系統的溫度漂移小于50nm/℃。此外，該技術(shù)具有很強的擴展性，可以提供定制化的大型拼接光學(xué)鏡面邊緣位移監測系統、飛機翼身對接間隙監測系統、飛機復合材料成型質(zhì)量檢測系統、光刻機物鏡精密檢測系統等解決方案，廣泛應用于軍民融合、航空航天、科教、半導體等諸多行業(yè)領(lǐng)域。最重要的是，該技術(shù)可以大幅提高國內電渦流位移傳感器的精度和穩定性，直接對標國際公司高端型號位移傳感器，打破國際技術(shù)封鎖，加速推進(jìn)精密位移傳感器的國產(chǎn)化進(jìn)程。因此，該技術(shù)憑借其高精度、穩定性好、擴展性強、應用廣泛和國產(chǎn)化等優(yōu)點(diǎn)，值得推薦。