職務(wù)

北京京儀自動(dòng)化裝備技術(shù)股份有限公司副總工程師

2022主要業(yè)績(jì)

及所獲榮譽(yù)

何茂棟長(cháng)期致力于集成電路領(lǐng)域高端裝備的設計開(kāi)發(fā)及國產(chǎn)化應用，先后參與國家863項目、國家科技重大專(zhuān)項、北京市科委項目等多個(gè)重點(diǎn)項目的研究開(kāi)發(fā)。2014年加入集成電路專(zhuān)用溫控設備項目組，帶領(lǐng)技術(shù)團隊開(kāi)發(fā)出40多種型號的溫控設備。所開(kāi)發(fā)的溫控設備采用先進(jìn)的智能控制算法對溫度進(jìn)行精密控制，經(jīng)過(guò)科技成果評價(jià)，溫控設備整體技術(shù)達到國際先進(jìn)水平，其中溫控精度處于國際領(lǐng)先，在集成電路制造領(lǐng)域得到批量應用，國內市場(chǎng)占有率超過(guò)50%，創(chuàng )造經(jīng)濟效益超過(guò)12億元，成功的實(shí)現了國外進(jìn)口高端溫控設備的國產(chǎn)化替代，解決了集成電路專(zhuān)用溫控設備長(cháng)期被國外壟斷及“卡脖子”的問(wèn)題，促進(jìn)“中國芯”的健康良性發(fā)展。發(fā)表論文6篇，獲授權發(fā)明專(zhuān)利38項，實(shí)用新型專(zhuān)利33項，軟件著(zhù)作權20項，多次榮獲省部級科技獎及榮譽(yù)獎。

一、2022年主要業(yè)績(jì)：

（1）獲科技進(jìn)步獎的溫控設備項目。集成電路制造過(guò)程中的刻蝕工藝對溫度具有極其嚴格的要求，要求-40℃~90℃寬溫度范圍，同時(shí)要求溫控設備可以適應負載的劇烈變化，實(shí)現溫度的精確控制，該低溫溫控設備長(cháng)期被國外壟斷，在工作中設計開(kāi)發(fā)了面向先進(jìn)刻蝕工藝的低溫溫控設備，經(jīng)過(guò)嚴苛的測試得到批量推廣應用，該項目科技成果2022年獲北京市科學(xué)技術(shù)進(jìn)步二等獎、機械工業(yè)科學(xué)技術(shù)進(jìn)步三等獎；

（2）應用于國家科技重大專(zhuān)項的溫控設備開(kāi)發(fā)。集成電路制造過(guò)程中工藝越來(lái)越復雜，對溫控設備的要求也越加苛刻，2022年開(kāi)發(fā)的集成電路專(zhuān)用溫控設備成功應用到客戶(hù)承擔的國家科技重大專(zhuān)項中，經(jīng)過(guò)現場(chǎng)極其嚴格驗證，溫控設備運行穩定各項性能指標滿(mǎn)足要求，成功實(shí)現國外進(jìn)口高端溫控設備的有效替代，是目前國內唯一可以匹配該重大專(zhuān)項的設備，成為該項目指定的溫控設備；

（3）國內首創(chuàng )產(chǎn)品。在集成電路的制造過(guò)程中部分工藝制程需要進(jìn)行快速的溫度切換，根據該工藝要求設計開(kāi)發(fā)了半導體專(zhuān)用溫控裝置（Chiller）T-320，經(jīng)過(guò)客戶(hù)驗證各項性能滿(mǎn)足要求，該產(chǎn)品填補了國內空白，2022年經(jīng)過(guò)北京市科學(xué)技術(shù)委員會(huì )的鑒定成為國內首創(chuàng )產(chǎn)品，獲263萬(wàn)元資金支持，用于后續產(chǎn)品系列化升級及推廣應用；

（4）金橋種子工程項目。針對泛林半導體公司LAM的低溫要求，設計開(kāi)發(fā)集成電路專(zhuān)用的低溫溫控設備，該項目2022年獲北京市科協(xié)金橋種子資金C類(lèi)項目支持；

（5）新技術(shù)新產(chǎn)品認定。設計開(kāi)發(fā)的半導體專(zhuān)用溫控設備V200等共計5款產(chǎn)品2022年獲北京市新技術(shù)新產(chǎn)品認定，半導體專(zhuān)用溫控設備Y-8050DC獲高新技術(shù)產(chǎn)品認定；

（6）SEMI認證。設計開(kāi)發(fā)的半導體專(zhuān)用溫控設備V102等共計11款產(chǎn)品2022年通過(guò)國際半導體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì )SEMI認證，為產(chǎn)品進(jìn)入集成電路制造產(chǎn)線(xiàn)奠定基礎。

二、所獲榮譽(yù)

    1、2022年獲全國五一勞動(dòng)獎?wù)拢?/p>

    2、2022年獲北京市科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎，二等獎；

3、2022年獲機械工業(yè)科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎，三等獎；

4、2022年獲“北京榜樣”提名人物獎；

5、2022年獲“國企楷?！け本┌駱印眲?chuàng )新楷模；

6、2022年獲京儀集團科技成果獎，一等獎；

推薦理由

集成電路專(zhuān)用溫控設備是集成電路制造領(lǐng)域的核心關(guān)鍵設備之一，涵蓋機、電、水、制冷、控制等學(xué)科的知識，該設備的成功研制打破國外廠(chǎng)家的壟斷解決了“卡脖子”的問(wèn)題，推動(dòng)集成電路制造領(lǐng)域高端裝備國產(chǎn)化進(jìn)程，對我國在集成電路制造領(lǐng)域實(shí)現持續快速發(fā)展具有積極重要的意義。

集成電路專(zhuān)用溫控設備在控制過(guò)程中受多個(gè)變量的影響，難以建立溫度控制過(guò)程的精確數學(xué)模型，在實(shí)際的控制過(guò)程中具有較大的控制難度。何茂棟從設備的熱傳導結構進(jìn)行推理，研究和設計其中的溫度控制系統，實(shí)現集成電路制造過(guò)程中溫度的精密控制。在設備的開(kāi)發(fā)過(guò)程中采用先進(jìn)的智能控制算法對系統的制冷、加熱進(jìn)行控制，使系統的溫度能夠快速、精確的達到工藝制程的要求。其開(kāi)發(fā)的集成電路專(zhuān)用溫控設備系列產(chǎn)品能夠滿(mǎn)足最先進(jìn)半導體工藝制程的要求，能夠匹配國內外主流的刻蝕工藝設備，在國內8英寸、12英寸的集成電路制造產(chǎn)線(xiàn)得到廣泛的應用，創(chuàng )造了較好的經(jīng)濟、社會(huì )效益，有力地促進(jìn)了國內集成電路制造領(lǐng)域健康良性發(fā)展。