適用于無(wú)線(xiàn)射頻/微機電系統- R F /MEMS - 和生物技術(shù)應用的先進(jìn)光敏玻璃

    國際技術(shù)集團和特種玻璃專(zhuān)家肖特集團近日推出經(jīng)過(guò)重大技術(shù)改進(jìn)的光敏玻璃產(chǎn)品FO TU RANTM I I，進(jìn)一步擴大其薄玻璃和晶圓產(chǎn)品組合。該材料具有先進(jìn)的光敏性、均質(zhì)性。這些獨特的特性使無(wú)線(xiàn)射頻（R F）元件和微機電系統（MEM S）制造商可以為各種半導體和生物技術(shù)應用生產(chǎn)出結構更為精細的基板。美國西部光電展（S P I E P h o to n ic s Wes t）將于2 0 1 6 年2 月1 6 - 1 8 日在美國舊金山舉行，肖特將在展會(huì )上首次展出其創(chuàng )新晶圓產(chǎn)品FO TU RANTM I I。
    肖特集團是光敏性玻璃領(lǐng)域的開(kāi)拓者。過(guò)去30 年間，作為一種性能卓越的特種玻璃材料，該公司的FOTURANTM 玻璃產(chǎn)品一直廣為人知，并應用于無(wú)需采用常規光阻劑基光刻的極度精細的結構中。FOTURANTM 在微系統技術(shù)的不同應用領(lǐng)域得到了測試和檢驗，這些領(lǐng)域包括微系統技術(shù)，半導體，遠程通信，射頻器件，微流體，微光學(xué)和MEMS 應用
    FO TU RANTM I I 可提供更好的性能和更大的效益
    現在，肖特采用一種全新的生產(chǎn)工藝，生產(chǎn)出一種全新一代的改性玻璃晶圓產(chǎn)品FOTURANTM II。該生產(chǎn)工藝可確保很高的重現性，以及整個(gè)晶圓產(chǎn)品均一的光敏性和光學(xué)特性。

    肖特薄玻璃和晶圓產(chǎn)品戰略業(yè)務(wù)部負責人Fredrik Prince 表示：“這些獨特的特性使FOTURANTM II 晶圓產(chǎn)品成為無(wú)線(xiàn)射頻/微機電系統和生物技術(shù)領(lǐng)域的一個(gè)關(guān)鍵元件。借助該產(chǎn)品，我們的客戶(hù)可以生產(chǎn)出具有微米級別、前所未有的寬高比和更為精細微結構的基板?！?br/>    FOTURANTM II 晶圓的標準供應尺寸包括直徑6 英寸或8 英寸的晶圓以及200X200 毫米方形基板，產(chǎn)品厚度則在0.5 毫米—1 毫米之間。這些晶圓和方形基板可以按照以下三個(gè)或四個(gè)步驟來(lái)進(jìn)行構造和加工，即：紫外線(xiàn)曝光（采用無(wú)需使用光阻劑的標準光刻設備），熱處理，蝕刻和陶瓷化（可選，針對耐高溫領(lǐng)域的應用）。用于構造FOTURANTM II 晶圓的主要行業(yè)包括半導體、電信、微機電系統傳感器、無(wú)線(xiàn)射頻元件、微流體和微光學(xué)等行業(yè)。

肖特的光學(xué)敏感性FOTURANTM II 玻璃晶圓可按照以下三個(gè)或四個(gè)步驟構造和加工，即：紫外線(xiàn)曝光，熱處理，蝕刻和陶瓷化

    在無(wú)線(xiàn)射頻（RF）應用領(lǐng)域，結構化的FOTURANTM II 基板可以使功率電感器在高頻設備中占據很小的占地面積、擁有高的品質(zhì)因子和高自諧振頻率（SRF）。另一方面，用于生物技術(shù)中的微流體即將成為諸多領(lǐng)域的主流支撐技術(shù)，這些領(lǐng)域包括醫療診斷、生命科學(xué)研究、藥物傳遞和合成等。
    FOTURANTM II 晶圓可用于生產(chǎn)可重復使用、易于清洗和光學(xué)透明的滴定板。此外，與硅傳感器所不同的是，FOTURANTM II 的可構造性使小型熱質(zhì)的流量傳感器具有超快的響應速度和優(yōu)良的化學(xué)穩定性。最后，FOTURANTM II 晶圓還可用于半導體基板和采用標準半導體設備的封裝工藝中。
    總之，肖特集團是世界領(lǐng)先的由特種材料制成的薄玻璃和超薄玻璃晶圓及基板供應商之一，而FOTURANTM II 晶圓則是肖特集團獨特產(chǎn)品組合中的一個(gè)有力補充。