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日前，沈陽(yáng)新松機器人自動(dòng)化股份有限公司承擔的“300mmIC生產(chǎn)線(xiàn)自動(dòng)物料搬運系統研發(fā)與應用”項目在沈陽(yáng)通過(guò)了國家科技重大專(zhuān)項“極大規模集成電路制造裝備與成套工藝”(02專(zhuān)項)實(shí)施管理辦公室組織的驗收。
該項目由新松公司聯(lián)合中科院沈陽(yáng)自動(dòng)化所、上海集成電路研發(fā)中心有限公司等實(shí)力雄厚的研究院所、企業(yè)進(jìn)行技術(shù)攻關(guān)，完成了物料控制系統軟件、潔凈天車(chē)、天井式搬運車(chē)、潔凈立庫、潔凈有軌制導車(chē)輛及外接晶片裝載設備等核心設備的開(kāi)發(fā)，并在上海集成電路研發(fā)中心有限公司完成了自動(dòng)物料搬運系統的示范應用，實(shí)現了潔凈物料傳輸系統裝備的國產(chǎn)化,項目合同期內完成了自動(dòng)物料搬運生產(chǎn)線(xiàn)5條，實(shí)現銷(xiāo)售收入1.44億元。該系統的研制成功不僅打破了國外集成電路裝備企業(yè)在國內的壟斷地位，降低了晶圓制造企業(yè)生產(chǎn)成本，同時(shí)推動(dòng)了我國集成電路裝備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，并帶動(dòng)整個(gè)裝備制造的產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展，加速我國裝備制造業(yè)的轉型升級。
下一步，新松公司將在三期產(chǎn)業(yè)園，新建超過(guò)6000平方米的潔凈車(chē)間，用于自動(dòng)化物料搬運系統及其核心設備產(chǎn)品研發(fā)、測試和驗證，進(jìn)一步提高潔凈產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化能力。
北京市公安局海淀分局備案號：11010802023656號