推出低成本高產(chǎn)能的MOCVD設備，用于發(fā)光二極管、硅基氮化鎵生產(chǎn)

上海2013年3月14日電 /美通社/ －－ 在下周即將舉行的 SEMICON China 展會(huì )期間，中微半導體設備（上海）有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“中微”）將正式發(fā)布多反應器金屬有機化合物氣相沉積設備（MOCVD），并首次進(jìn)入半導體照明市場(chǎng)。Prismo
D-Blue™ MOCVD 設備可以實(shí)現復雜的氮化鎵、銦鎵氮、鋁鎵氮超薄層結構的大批量生產(chǎn)，這些超薄層結構對于高亮度 LED 是必需的。中微的 MOCVD
設備不僅具有精準的參數控制、全自動(dòng)化處理和獨特的緊湊設計等特點(diǎn)，而且擁有高生產(chǎn)率、高產(chǎn)能和低成本投入，是 LED 芯片制造過(guò)程中必不可少的新一代 MOCVD
設備。

目前，中微已有 MOCVD 設備在國內一家著(zhù)名的 LED 廠(chǎng)家運行。

硬件優(yōu)勢：中微具有自主知識產(chǎn)權的 MOCVD
設備可以容納多達4個(gè)反應器，每個(gè)反應器都可以獨立控制。這一創(chuàng )新設計可以實(shí)現卓越的生產(chǎn)靈活性。它也是該類(lèi)設備中唯一帶有這一特性的產(chǎn)品，也就是說(shuō)，中微的 MOCVD
設備可以以并行或者串行模式運行，這就減少了交叉污染，并且保證了晶體的高質(zhì)量，這是先進(jìn)的 LED
器件所必需的。中微的MOCVD設備在占地面積上也有相當的優(yōu)勢，它比競爭者的單反應器機臺的占地面積小了近30%，因此，Prismo D-Blue對于目前的 LED
芯片生產(chǎn)線(xiàn)無(wú)疑是占地面積更小的絕佳選擇。 設備優(yōu)異，市場(chǎng)廣闊，時(shí)機成熟：進(jìn)入半導體照明市場(chǎng)對于中微而言是水到渠成的一步。作為一個(gè)新興的創(chuàng )新領(lǐng)軍者，中微為全球半導體制造商提供了先進(jìn)的工藝技術(shù)和設備。目前，中微已有超過(guò)200個(gè)刻蝕反應臺在亞洲16條國際領(lǐng)先的半導體生產(chǎn)線(xiàn)上運行。中微在硅技術(shù)上積累的豐富經(jīng)驗和工藝知識，以及它嚴謹的研發(fā)協(xié)議和材料工程背景，造就了一系列半導體制造前端設備?，F在，中微又將這些運用在了
Prismo D-Blue 的研發(fā)上。中微新的 LED 客戶(hù)還將受益于公司嚴格的供應商管理協(xié)議。 現在對于一個(gè)新的 MOCVD 設備制造商來(lái)說(shuō)也是一個(gè)良好的發(fā)展時(shí)機，尤其對于研發(fā)和制造中心在上海的制造商來(lái)說(shuō)。根據法國市場(chǎng)研究機構 Yole
Development 預測，到2017年，MOCVD 設備的市場(chǎng)規模預計將達到43億美元。中國在全球制造業(yè)中仍將占主導地位。燈泡價(jià)格將下跌，LED
照明將取代傳統白熾燈。燈泡變得更便宜，當然就意味著(zhù) LED 制造商能獲取的利潤更緊縮，這就使得設備制造商提高生產(chǎn)效率比以往任何時(shí)候都顯得尤為重要。中微的
MOCVD 設備具有極高的生產(chǎn)效率，在這樣的市場(chǎng)環(huán)境中則更顯其優(yōu)勢。 “進(jìn)入半導體照明市場(chǎng)是公司發(fā)展策略中的一個(gè)重要組成部分，”中微資深副總裁兼 MOCVD 產(chǎn)品事業(yè)群總經(jīng)理杜志游博士說(shuō)，“我們專(zhuān)業(yè)的 MOCVD
技術(shù)團隊建立了一個(gè)優(yōu)勢明顯、極具靈活性的 MOCVD
平臺，它具有其獨特創(chuàng )新性，可以解決復雜技術(shù)和生產(chǎn)方面帶來(lái)的挑戰。能夠為客戶(hù)提供高產(chǎn)能低成本的技術(shù)，用于他們先進(jìn)的 LED 器件制造，對此我們感到非常興奮。”
Prismo
D-Blue具有卓越的工藝性能和生產(chǎn)效率：中微的
Prismo
機臺可以同時(shí)加工216片2英寸晶圓。它的工藝能力還能延展到生長(cháng)4英寸、6英寸和8英寸外延晶片。除了具有多反應器結構的優(yōu)點(diǎn)可以使其加工靈活性達到最大化以外，Prismo
D-Blue
在每個(gè)關(guān)鍵性能指標上的表現都十分出色。在馬拉松測試中，它表現出了優(yōu)異的片內和片與片之間的均勻性以及很好的重復性。這些結果都是在整個(gè)外延晶片加工的過(guò)程中未作任何工藝參數調整而得出的。外延晶片加工的過(guò)程對于反應腔室表面的條件、化學(xué)氣體環(huán)境、溫度轉換控制和其他可變因素都極為敏感，因此在這種加工過(guò)程中，能達到持續的重復性確實(shí)有它獨到的一面。

在上述馬拉松測試中，Prismo D-Blue
從未發(fā)生過(guò)任何異常中斷，中微通過(guò)對工藝參數現場(chǎng)實(shí)時(shí)的監控實(shí)現了高可靠性。這種高可靠性還得益于一系列復雜的軟件程序、先進(jìn)的傳輸模塊、流程自動(dòng)化和控制技術(shù)。這些同樣也是使得中微的半導體前端加工設備被業(yè)界廣為認可的技術(shù)。

Prismo D-Blue 還被進(jìn)一步優(yōu)化以方便用戶(hù)更易操作與維護。這對于一個(gè)發(fā)展迅速并看重成本的 LED
芯片制造商來(lái)說(shuō)是至關(guān)重要的。卓越的加工性能和正?？蛇\行時(shí)間可以拉大服務(wù)之間的差距，而新穎的設計特點(diǎn)則能夠使得設備維護更加簡(jiǎn)便易行。同時(shí)，自動(dòng)化、可編程的維護程序使得反應腔開(kāi)關(guān)操作更加安全、快捷、可預測并且不易出錯。

Prismo D-Blue 目前已擁有100多項專(zhuān)利（包括授權和未授權專(zhuān)利）以保護其獨特的創(chuàng )新性。此外，它還遵循了半導體制造規則并完全符合 SEMI
標準。

中微公司將于SEMICON China展會(huì )期間召開(kāi) Prismo D-Blue 產(chǎn)品發(fā)布會(huì )，僅限受邀者參加。詳情請聯(lián)系 Lorentz Tsai（lorentztsai@amecnsh.com）。

Prismo D-Blue 是中微公司已申請的注冊商標。

關(guān)于中微半導體設備（上海）有限公司

中微公司致力于為全球芯片生產(chǎn)廠(chǎng)商和相關(guān)高科技領(lǐng)域的世界領(lǐng)先公司提供一系列高端的芯片生產(chǎn)設備。公司目前主要提供等離子體刻蝕設備和硅通孔（TSV）刻蝕設備，用于國際一線(xiàn)客戶(hù)22納米及以下的芯片加工制造。目前，中微已有200多個(gè)刻蝕反應臺在亞洲地區眾多國際領(lǐng)先的生產(chǎn)線(xiàn)上運行。
更多信息請訪(fǎng)問(wèn)公司網(wǎng)站：www.amec-inc.com

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