MOCVD是在氣相外延生長(cháng)基礎上發(fā)展起來(lái)的一種新型氣相外延生長(cháng)技術(shù)。作為L(cháng)ED芯片生產(chǎn)過(guò)程中最為關(guān)鍵的設備,MOCVD的核心技術(shù)長(cháng)期被歐美企業(yè)所壟斷,嚴重制約了我國LED產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展。
中晟光電設備(上海)有限公司于今年初1月18日成功實(shí)現了擁有自主創(chuàng )新知識產(chǎn)權的具有世界先進(jìn)水平的大型國產(chǎn)MOCVD設備下線(xiàn),僅用了10個(gè)月時(shí)間,又完成了工藝的開(kāi)發(fā)和設備進(jìn)一步的改進(jìn)優(yōu)化,完成了設備產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)必備條件與設施的建立;在此基礎上又完成了4家客戶(hù)的多次實(shí)地考察,親臨操作設備和驗證各項工藝。
客戶(hù)對中晟MOVCD的評價(jià)是具有4個(gè)核心競爭力:
一是具有目前世界上最高的系統產(chǎn)能;
二是具有最低的外延生產(chǎn)成本;
三是具有良好的波長(cháng)均勻性;
四是具有大規模外延生產(chǎn)所需的各項關(guān)鍵性能。尤為重要的是,這些核心差異競爭力都具有自主創(chuàng )新的知識產(chǎn)權