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近日,北京市科委重點(diǎn)支持的高端裝備制造企業(yè)——北京京運通科技股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)京運通公司)通過(guò)自主研發(fā),成功開(kāi)發(fā)出國產(chǎn)6英寸區熔單晶爐設備,并突破國產(chǎn)設備的大尺寸區熔單晶制備工藝技術(shù),采用國產(chǎn)設備連續成功拉制出了6英寸區熔單晶。區熔硅單晶較直拉硅單晶具有更高純度,是電力電子器件的關(guān)鍵材料,廣泛用于電力整流器、大功率晶閘管、功率集成電路等領(lǐng)域,市場(chǎng)前景巨大。
中國電子專(zhuān)用設備工業(yè)協(xié)會(huì )對京運通公司開(kāi)發(fā)的區熔單晶硅爐設備進(jìn)行了技術(shù)鑒定,專(zhuān)家認為,采用該國產(chǎn)設備實(shí)現6英寸區熔單晶硅棒連續成功拉制,填補了國內空白,打破了國外對5-6英寸區熔單晶生產(chǎn)設備的壟斷,為推進(jìn)大尺寸區熔單晶設備產(chǎn)業(yè)化奠定了堅實(shí)基礎。