日本精工針對從事FPD等面板搬運的真空機器人用途,開(kāi)發(fā)出了在超高真空環(huán)境下耐久性更高的角接觸球軸承“真空機器人用固體潤滑角接觸球軸承”。此次通過(guò)重新開(kāi)發(fā)保持架的機械裝置,成功實(shí)現了角接觸球軸承的固體潤滑。由此,不僅提高了耐久性,還可滿(mǎn)足日益大型化的真空機器人負荷容量增加的要求。耐久性達到以往固體潤滑軸承的5倍。
在新的機械裝置中,襯套可相對于滾珠及滾動(dòng)面進(jìn)行滑動(dòng)。另外,通過(guò)將油兜配置在接觸角(滾珠受力的作用線(xiàn)方向)位置,提高了軸承潤滑的效率。
作為固體潤滑劑,采用了二硫化鎢類(lèi)燒結合金,其脫氣量(從材料釋放出的分子的量,Outgas)僅為以往真空用潤滑脂的1/5~1/10以下??稍跍囟葹?00℃(固體潤滑劑為350℃)、壓力最大為10-6Pa的超高真空環(huán)境下使用。