在2008歐洲半導體設備與材料產(chǎn)業(yè)展覽會(huì )上，杜邦高性能彈性體公司（DPE）重點(diǎn)推出專(zhuān)為半導體熱處理過(guò)程開(kāi)發(fā)的最新Kalrez 8900全氟彈性體部件。Kalrez 8900部件實(shí)現了在更高溫度半導體制造過(guò)程中更長(cháng)的密封壽命，減少了昂貴的設備停工時(shí)間，降低了設備擁有成本。

    DPE還公布了Kalrez 9100部件最近在沉積、蝕刻、灰化/剝離等制程上的成功商業(yè)化，并推出了可提高光伏生產(chǎn)密封可靠性的Kalrez產(chǎn)品。

新型Kalrez 8900部件

    在半導體熱處理工藝:如氧化、擴散爐、CVD、ALD 和LPCVD等的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)的密封應用中，Kalrez 8900部件使設備運轉時(shí)間更長(cháng)，表現優(yōu)于傳統工業(yè)設備維護標準。其綜合性能可有效地延長(cháng)設備密封壽命、提高產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)能。

    Kalrez 8900部件即使在最高325攝氏度的環(huán)境下持續運作也表現出優(yōu)異的熱穩定性，極少漏氣，抗溫度循環(huán)影響表現也很出色，因而該產(chǎn)品已在各種嚴苛的半導體加工應用中成功通過(guò)測試，這些測試通常都在300攝氏度以上的高溫環(huán)境下進(jìn)行。推薦的應用領(lǐng)域包括石英管密封、高壓密封、密封筒和中央環(huán)密封。

    此次為嚴苛熱環(huán)境推出的Kalrez 8900部件使杜邦高性能彈性體的全氟彈性體產(chǎn)品系列更為完善，該系列產(chǎn)品包括Kalrez 9100、Kalrez Sahara 8085、Kalrez 8002和Kalrez 6375UP等，已在晶片加工中有出色表現的產(chǎn)品。

    Kalrez 9100 

    DPE Kalrez 9100全氟彈性體部件是最新的半透明琥珀色產(chǎn)品，專(zhuān)門(mén)針對在HDPCVD、PECVD、蝕刻、灰化/剝離制程以及非晶/微晶硅電池沉積工藝中的低腐蝕和超低顆粒要求而開(kāi)發(fā)。Kalrez 9100部件在以上環(huán)境中表現出超長(cháng)的壽命，減少昂貴的設備停工損耗并降低設備維護成本。

    位于美國得克薩斯州奧斯汀的全球領(lǐng)先的閃存供應商Spansion公司，最近通過(guò)在使用腐蝕性的SiH4, O2,He加工環(huán)境和NF3及O2等離子體的兩步清洗化學(xué)品的Fab 25工廠(chǎng)中改用Kalrez 9100產(chǎn)品，成功的改善了原先的設備檢修周期，使產(chǎn)量提高超過(guò)20%，設備維修成本也顯著(zhù)降低。

    類(lèi)似的關(guān)于Kalrez 9100部件的應用案例還包括：

    IMEC，硅加工及設備技術(shù)部

    奇夢(mèng)達，Kalrez 9100現在已被選擇為其11個(gè)不同的DTE chamber密封套件提供密封件，并且正考慮在其他四個(gè)部位的應用。

    Kalrez部件應用于光電制造

    不論在晶片型還是薄膜型光伏生產(chǎn)過(guò)程中，Kalrez 部件均具有廣泛的化學(xué)兼容性和優(yōu)良的熱穩定性。Kalrez部件可幫助使用等離子體、高溫和腐蝕性學(xué)品的重要光伏晶片加工設備提高密封可靠性。光伏制造商們?yōu)榱搜娱L(cháng)正常運行時(shí)間、提高產(chǎn)量，開(kāi)始使用更有效同時(shí)更具腐蝕性的化學(xué)品和更高的溫度，使得制造工藝面臨更多的壓力。由于密封材料的不相容而導致的計劃外維護，會(huì )干擾生產(chǎn)計劃、造成停工。由于需要更少的預防性設備維護(PM)，Kalrez 全氟彈性體部件可顯著(zhù)減少停機時(shí)間，提高生產(chǎn)力，降低生產(chǎn)環(huán)境中的設備維修成本。

    Kalrez 密封件系列的四個(gè)產(chǎn)品組可用于光伏生產(chǎn)工藝，同時(shí)也可用于多晶硅原料生產(chǎn)和減排系統：

    Kalrez PV8030：用于表面結構處理、聚硅酸鹽去除和“濕”洗滌/減排應用。

    Kalrez PV8050：用于邊緣隔離、電弧噴涂、CIS/CIGS和碲化鎘電池膜以及TCO沉積工藝。

    Kalrez PV8070：用于摻雜，鍍金屬，和CIS/CIGS電池膜層沉積工藝。 

    Kalrez 9100：用于非晶/微晶硅電池膜沉積工藝。

    集成生產(chǎn)

    DPE集成了從聚合物開(kāi)始的生產(chǎn)過(guò)程，以增強質(zhì)量控制和產(chǎn)品研發(fā)。Kalrez 全氟彈性體部件是在獲得ISO 9000認證的設施中生產(chǎn)的，可生產(chǎn)從傳統密封形狀和組合門(mén)封到客戶(hù)定制件，范圍廣泛的成品部件。產(chǎn)品在符合Class 100標準的工作站里經(jīng)過(guò)特別清潔并使用雙層包裝，大大減少了被污染的可能性。為了確?？勺匪菪?，每件產(chǎn)品都在有條形碼的袋子中獨立包裝?？晒┊a(chǎn)品形狀包括O型圈、密封墊片和客戶(hù)定制密封件。