系統簡(jiǎn)介：
    北京某電子股份有限公司是國內最早研究和生產(chǎn)擴散爐的專(zhuān)用設備廠(chǎng)。先后為全國器件生產(chǎn)廠(chǎng)家提供4500余管各種型號的擴散爐產(chǎn)品。十幾年，中、高檔擴散爐的市場(chǎng)占有率始終都在70%以上。

    6472微控擴散系統是一種臥式四管擴散爐。具有四套獨立的工藝爐管。 供大規模集成電路生產(chǎn)線(xiàn)6″硅片擴散、氧化、退火、合金等工藝使用。系統自動(dòng)化程度高，是自行開(kāi)發(fā)的、具有完全自主知識產(chǎn)權的主打設備之一。

系統要求：
1．可配工藝管外徑：φ222mm

2．工作溫度范圍： 400~1300℃

3．恒溫區長(cháng)度及精度：760mm /±0.5℃

4．單點(diǎn)溫度穩定性：600℃～1200℃   ±0.5℃/24h

5．升溫時(shí)間:從室溫升至1300℃≤90min

6．溫度斜變能力：

升溫速度：   15℃/min

    降溫速度：   5℃/min

7． 送料裝置： 程≥1650mm，速度 10～1000mm/min          

8．氣體流量設定精度： ±2％

9．氣路系統氣密性；4×10-9 Atm.cc/s                             

10．供電電源：三相，ＡC380v/50Hz

研華解決方案：

☆系統采用研華AWS-8420工作站作控制主機，內置式12.1＂彩色液晶顯示器，與各種板卡配套組成了高精度的溫度數據采集和處理系統，并具有多種故障報警、報警安全保護、冷端補償和故障自診斷功能等等。采用PC總線(xiàn)工業(yè)控制機。功耗小、壽命長(cháng)。加上自主開(kāi)發(fā)的、豐富嚴謹的軟件支持，很方便地實(shí)現了對爐溫、工藝氣體流量、送料裝置、閥門(mén)動(dòng)作、溫區斜變等的全自動(dòng)控制，并管理全部工藝時(shí)序。自動(dòng)化程度高，除裝卸石英舟晶片外，其余全部由微機控制；具有良好的人機界面，系統的各種工藝參數均可在顯示屏上顯示并修改。

☆由于采用上述PC總線(xiàn)工控機配置，使設備很容易實(shí)現恒溫區自動(dòng)調整功能。不再像以往那樣使用冰瓶、熱偶、分辨率極高的電壓測量系統，由人工一點(diǎn)一點(diǎn)的測量爐膛溫度，之后再反復修正爐溫設定值，反復測量爐膛溫度來(lái)調整恒溫區。而是啟動(dòng)設備上的一個(gè)功能鍵，通過(guò)Profile熱偶便能實(shí)現恒溫區的自動(dòng)調整。

☆在設備的溫度斜變功能上也有所增強，設備不僅僅要求單點(diǎn)溫度能以一定的速率變化，更重要的是能使恒溫區以一定的速率變化。面對硅片直徑越來(lái)越大，溫度斜變功能顯得格外重要。如果設備沒(méi)有溫度斜變功能，特別是工作溫度比較高時(shí)，有可能造成硅片翹曲甚至于碎片；如果溫度斜變功能不夠完善，爐膛升溫時(shí)，也會(huì )造成爐膛各點(diǎn)溫度不同，既而大大降低產(chǎn)品的一致性。采用這套PC總線(xiàn)工控機配置，通過(guò)軟件和硬件巧妙結合，很成功地實(shí)現了較為理想的溫度斜變功能?？梢愿鶕脩?hù)要求使恒溫區以一定的速率穩步上升或下降。不僅大大的提高了設備的可靠性。產(chǎn)品片間、批間的一致性都比較好。

選用研華產(chǎn)品：
l AWS-8420

l ADAM-4017

l ADAM-4011

l PCL-726

l PCL-730

小結：
　　雖然現代系統工控越來(lái)越大量地使用了以太網(wǎng)和組態(tài)軟件，但對于小系統設備來(lái)說(shuō)，尤其是對那些具有VB、VC自主開(kāi)發(fā)能力的用戶(hù)來(lái)說(shuō)，采用這種控制模式無(wú)疑是一個(gè)降低成本、增加和保護自主知識產(chǎn)權、提高市場(chǎng)競爭力的好方法。

系統原理圖：