項目簡(jiǎn)介
----某集成電路制造（上海）有限公司是中國最大的半導體生產(chǎn)廠(chǎng)家之一。生產(chǎn)200mm (8 inch)的芯片，可達到密集程度0.25 μm 以下的工藝技能以滿(mǎn)足中國市場(chǎng)的巨大需求。
----作為專(zhuān)業(yè)的全集成自動(dòng)化解決方案的提供者，我們憑著(zhù)強大的技術(shù)實(shí)力與豐富的工程經(jīng)驗在激烈的競爭中贏(yíng)得了此公司潔凈室自控系統工程的合約，提供了從設備到工程的一系列服務(wù)，包括提供基于分散過(guò)程控制系統的PCS7系統，控制方案的選擇和控制功能的設計，系統編程，組態(tài)，安裝，開(kāi)車(chē)調試，工藝參數優(yōu)化，以及相關(guān)操作維護手冊編寫(xiě)，培訓。系統總I/O點(diǎn)數超過(guò)2000點(diǎn)。項目于2001.3啟動(dòng)，2001.12竣工。

系統結構
----PCS7作為一個(gè)富有競爭力的過(guò)程控制系統，被用于此公司的凈化室項目中，兩個(gè)獨立的加工廠(chǎng) (FAB1和FAB3B) 分別配備了一套PCS7系統?？紤]到芯片加工廠(chǎng)連續生產(chǎn)的特性，我們采用了AS控制器冗余技術(shù)。分布式I/O模塊的應用，滿(mǎn)足了安裝及接線(xiàn)靈活性的需要。分布式I/O模塊由靈活的底板總線(xiàn)驅動(dòng)，可帶電插拔。為了確保其的可靠性，同時(shí)也配備了Profibus的冗余通訊。UPS的應用解決了斷電問(wèn)題。

控制策略
----芯片與生產(chǎn)設備本身對空氣的溫濕度非常敏感。為了維持潔凈室穩定的環(huán)境，控制系統必須能自動(dòng)識別變化。通過(guò)新風(fēng)機低中效的過(guò)濾以及風(fēng)扇過(guò)濾單元高效過(guò)濾，可以實(shí)現對凈室潔凈度的控制。利用變速風(fēng)機可以進(jìn)行壓力控制，潔凈室中穩定的正壓是新風(fēng)機和排氣系統共同作用的結果。
----為了更精確地控制濕度，我們采用了串級控制，從而克服了滯后現象。主環(huán)控制凈室的相對濕度，而副環(huán)主要控制送風(fēng)系統的一些擾動(dòng)，包括公用部分的一些不穩定因素。在某一溫度下，為了保持空氣中一定的濕度，必須注意補給以保持空氣的絕對濕度。

項目突出點(diǎn)
----為盡快建立芯片生產(chǎn)線(xiàn)，所有的工作都幾乎在同時(shí)進(jìn)行，那就意味著(zhù)需要一支有經(jīng)驗的專(zhuān)業(yè)化工程隊伍。同時(shí)，由于半導體制造設備的巨大投資，以及生產(chǎn)線(xiàn)工人24小時(shí)不間斷的生產(chǎn)作業(yè)，這些都要求控制系統必須有高度的可靠性。

系統優(yōu)勢
----考慮到半導體工業(yè)的特性與產(chǎn)品周期，西門(mén)子工業(yè)自動(dòng)化有限公司為其配置了西門(mén)子具有高度靈活性，可靠性與一體化的PCS7過(guò)程控制系統，實(shí)現集成數據管理，集成編程，組態(tài)，集成通訊。
----采用的AS 414H/417H 是冗余的自動(dòng)化系統，由兩個(gè)獨立的中央處理單元組成，同步跟蹤被控對象，并通過(guò)CPU之間的數據線(xiàn)進(jìn)行快速，直接的內部數據交換。這兩個(gè)獨立的中央處理單元可以以冗余的方式接入工業(yè)以太網(wǎng)，并有冗余的PROFIBUS-DP 接口連接I/O。一旦異常情況發(fā)生，故障搜索裝置啟動(dòng)，受影響的單元停止，自動(dòng)切入后備單元。